• 名称Ebeam Evaporator电子束蒸发
• 资产编号
• 型号ABGCZD11036
• 规格
• 产地
• 厂家加拿大Angstrom Engineering Inc
• 所属品牌
• 出产日期
• 购买日期
• 所属单位浙江大学
• 使用性质科研
• 所属分类
• 联系人--
• 联系电话
• 联系邮箱
• 放置地点微纳加工中心

主要规格及技术指标

"规格：2000mm*770mm*979mm 真空腔380*380*500
技术指标：
1. 蒸镀薄膜种类：
金属：Au、Pt、Ni、Ti、Cr、W、Mn、Ag、Sn等。
介质材料：Al2O3、SiO2、SiO等。
2.抽气速度：正常情况，30min由ATM到1.0×10-5torr，但目前只能到4.0×10-5torr。
3.极限真空度：应该达到5×10-7torr，但目前只能达到5×10-6torr。
4.样品尺寸：4英寸或小于4英寸。
5.电阻式蒸发源：1个。
6. 电子束蒸发源：1个，有6个坩锅，电子枪最大功率10kW。
7.一次可蒸镀7种不同材料的膜系。
8.配INFICON膜厚监控仪，可实时精确监控膜厚和蒸发速率。"

主要功能及特色

可沉积各种金属材料包括难熔金属、介质材料的高纯度、高质量薄膜样品。

设备使用相关说明

收费标准：
校内：自行操作：300元/小时。 委托加工：450元/小时。 15分钟为基本计时单位。 贵金属单独结算。 设备培训费200元/人/次。说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。
校外：自行操作：600元/小时。 委托加工：900元/小时。 15分钟为基本计时单位。 贵金属单独结算。 设备培训费400元/人/次。说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。
（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议）